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澳六宝典

槽式异质结制绒清洗机

主要功能:

用于去除硅片表面杂质,在硅片表面形成金字塔绒面,降低硅片表面的反射率。



0512-66163090
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设备性能

产能: Up to 8000 wafers/hour

设备有效利用率:≥97%

碎片率:M12≤0.01%

 

硅片规格

硅片厚度:≥160 μm

硅片尺寸:182*182-230*230mm

花篮类型:Low-surface carrier (LSC)made by PVDF

花篮片间距:4.76mm

花篮容量:100 wafers

 

机械臂系统

机械臂:8 sets

伺服马达:16 PC

抬起时间:Less than 22 sec 

 

设备尺寸 

长*宽*高:27300*3200*2650mm


方向

工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

 

电力供应

供电:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制电源:DC 24V

满载电源:230KW/175KW

建议最大保险丝规格:225A/135A

 

安装要求

最小地面承重:750Kg/㎡

最低车间高度:3.5m

无尘室级别:ISO7(10K Class)

环境温度:17℃<RT<30℃

最大湿度:70%